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钛合金晶圆环

钛合金晶圆环
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  • 产品详情
    参数项规格说明
    产品名称钛合金晶圆环
    常用材质TA1/TA2、TC4
    执行标准SEMI F72-1101、ASTM B381、NAS Class 1
    适配晶圆8/12英寸主流，可定制4/6英寸
    核心尺寸外径φ100-500mm（主流φ200/300mm）；内径φ80-480mm；高度5-50mm
    公差精度±0.05mm
    表面粗糙度电解抛光Ra≤0.2~0.4μm；车削Ra≤1.6μm
    耐温范围长期-250~400℃，短时600℃
    关键性能TA2抗拉≥345MPa、TC4≥895MPa；无磁；离子析出<0.01ppb
    表面处理电解抛光、钝化，可定制TAC涂层
    包装标准真空密封+洁净袋，附检测报告
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